Hvernig er Ultrasonic úðastúturinn húðun á Photoresist?

Ultrasonic úðahúðunartækni er ný tækni sem gegnir mikilvægu hlutverki í ýmsum atvinnugreinum. Stærri fjöldi viðskiptavina velur nú ultrasonic stútur fyrir húðun. Í samanburði við hefðbundna tveggja-vökvaúðun, býður úthljóðsúðun umtalsverða kosti í húðunargæði, efnisnýtingu og ferlisamhæfni.

 

Fyrirtækið okkar býður upp á ókeypis sýnishornsprófunarþjónustu og sífellt fleiri viðskiptavinir senda okkur sýnishorn til prófunar. Búnaðurinn okkar hefur fengið jákvæða dóma og viðurkenningu frá viðskiptavinum okkar.

 

Í dag munum við ræða ultrasonic photoresist úða, tiltölulega algenga tegund efnis úða.

 

Photoresist er þunnt filmuefni sem er viðkvæmt fyrir ljósi eða geislun og er fyrst og fremst notað fyrir fínt mynstur á sviðum eins og samþættum hringrásum og skjáborðum. Það þjónar sem ætingarþolið-húð í ljósþynningarferlinu. Leysni þess breytist við útsetningu fyrir ljósi og myndar æskilegt hringrásarmynstur. Ljósviðnám er flokkað í jákvæða-tón (útsett svæði leysast upp) og neikvæða-tón (ólýst svæði leysast upp). Það fer eftir útsetningu ljósgjafa, þeir eru flokkaðir í UV, djúpt UV, Extreme UV og rafeindageislaþol.

Kjarninn í ultrasonic photoresist atomization spray tækni er notkun ultrasonic titringsorku til að ná fram skilvirkri og samræmdri atomization á photoresist. Nákvæm loftflæðisstýring skilar síðan úðuðu dropunum á yfirborð undirlagsins og myndar hágæða húðun. Hægt er að skipta ferlinu í þrjú lykilþrep:

 

 

1. Photoresist atomization: Há-tíðni titringur brýtur niður yfirborðsspennu vökvans.

Kjarnahluti ultrasonic úðatækni er ultrasonic atomizing stúturinn, sem hýsir piezoelectric keramik titrara. Þegar há-rafmagnsmerki er beitt á titrarann, myndar það vélrænan titring á sömu tíðni, sem sendir titringsorkuna til úðunaryfirborðs stútsins. Eftir að ljósþolið er komið á úðunaryfirborðið í gegnum vökvaveitukerfið, brjóta hátíðni titringur hratt niður yfirborðsspennu vökvans og mynda míkron-dropa með jöfnu þvermáli (venjulega 5μm-50μm).

Í samanburði við hefðbundna þrýstingsúðun (sem byggir á háþrýstingsloftstreymi til að brjóta upp vökvann) útilokar úthljóðsúðun þörfina fyrir háþrýstingsloftstreymistruflun, sem leiðir til einsleitari dropastærðardreifingar (innan ±10%). Það forðast einnig að skvetta dropum eða trufla yfirborð undirlagsins vegna loftflæðisáhrifa.

 

2. Nákvæm stjórn á flutningsleiðinni

Fyrirtækið okkar hefur faglega forritunarverkfræðinga sem geta sjálfstætt forritað úðunarbrautina fyrir úða. Við getum líka sérsniðið mismunandi úðaleiðir í samræmi við kröfur viðskiptavina. Við höfum þroskaða reynslu í framleiðslu á fullkomnum vélum. Fyrir hvert tæki forritum við það fyrir viðskiptavininn. Á skjánum sér viðskiptavinurinn rauntíma-úðaleiðina. Auk leiðarvals þurfum við einnig að stilla loftflæðishraðann (til að stjórna flutningsfjarlægð, venjulega 5-50 mm) og hlutfallslega stöðu stúts og undirlags (með því að nota vélfæraarm eða þýðingarstig fyrir þrívíddarstaðsetningu), tryggjum við að úðuðu agnirnar nái yfirborði undirlagsins lóðrétt og jafnt, og forðast ójafna loftflæðisþykkt.

3. Húðunarfilmamyndun: Lág-hitaherðing tryggir burðarvirki

Eftir að úðuðu droparnir eru settir á yfirborð undirlagsins fara þeir í gegnum lágt-hitaferli (venjulega 60 gráður -120 gráður, mun lægra en há-hitahitastig hefðbundins snúningshúðunar) til að mynda filmu. Lághitameðferð kemur ekki aðeins í veg fyrir aflögun undirlags eða niðurbrots efnis af völdum hás hitastigs, heldur dregur einnig úr streituuppsöfnun innan ljósþolsins, bætir viðloðun lagsins og burðarvirki, leggur góðan grunn fyrir síðari ljóslitunarferli.