Há-nákvæmni, ofur-þunn filmuútfellingarlausn fyrir tómarúm-lokað umhverfi

Há-nákvæmni, ofur-þunn filmuútfellingarlausn fyrir tómarúm-lokað umhverfi

 

Á háþróaðri-framleiðslusviðum eins og þunnfilmuútfellingu hálfleiðara, ljósfræðilegri nákvæmni húðun og nýrri orkuvirknihúð, geta hefðbundin úðunarferli sem starfa við lofthjúpar ekki uppfyllt kröfur um mikla-nákvæmni, há-hreinleika þunnfilmugerðar. 60kHz lofttæmisflans úthljóðsúðunartækni, sem byggir á meginreglunni um há-úthljóðsúðun og ásamt sérsniðnu-hönnuðu innspýtingardælukerfi, nær stöðugri og nákvæmri úðun í fullkomlega lofttæmi-lokuðu umhverfi og forðast algjörlega truflun í andrúmsloftinu. Þetta hefur orðið kjarnaferlislausn fyrir undirbúning fyrir þunnt filmu í lofttæmi og ör/nano húðunarvinnslu, hentugur fyrir ýmsar samþættar framleiðslu- og tilraunarannsóknir og rannsóknir innan lofttæmishólfa.

 

I. Meginregla kjarnatækni: Tómarúm-aðlögunarhæft há-hljóðtíðni ómunarkerfi

60kHz er ákjósanlegasta-tíðnisviðið fyrir nákvæmni úðaúðun í iðnaði. Í samanburði við lág-úthljóðsúðun við 20kHz og 40kHz býður þetta band upp á hærri titringstíðni og sterkari úðunarnákvæmni. Með há-vélrænum titringi er hægt að rífa fljótandi húðun, forveralausnir, virka slurry og aðra miðla í jafnstóra míkrona-offína dropa. Einbeitt dropastærð og lítil dreifing leggja grunninn að samræmdri filmumyndun. Ólíkt hefðbundnum opnum -úthljóðsúðabúnaði, notar þessi tækni lofttæmandi flans-þétta byggingu, sem hættir við hefðbundna loftræstingu lofttegunda. Þar sem ekkert burðargas kemur við sögu í öllu ferlinu, forðast það í grundvallaratriðum truflun á loftflæði í lofttæmishólfinu og aðlagar sig fullkomlega að lofttæmi-þéttum aðstæðum.

 

Kjarnastútur búnaðarins tengist óaðfinnanlega við lofttæmishólfið með venjulegum lofttæmisflans. Heildar innsiglaða arkitektúrinn er aðlögunarhæfur að lofttæmi á bilinu 13Pa til 133Pa. Jafnvel við neikvæða þrýstingsaðstæður innan hólfsins, viðheldur það stöðugum há-tíðni titringi án leka, dempunar eða þrýstingsójafnvægis. Í lofttæmu umhverfi eru ofurfínir dropar óbreyttir af loftmótstöðu og oxun, sem setjast jafnt og stöðugt á yfirborð undirlagsins. Dreifanleiki dropa er verulega bættur, myndar þétta, einsleita, -fría ofur-ofurþunna, virka húð, sem leysir iðnaðarvandamálin með dropadreifingu, oxunarþéttingu og ójafnri filmuþykkt sem kemur upp við úðun í andrúmslofti.

 

II. Helstu kostir kerfisins: Nákvæmni úðunarmöguleikar aðlagaðir að lofttæmisaðstæðum

1. Fullt tómarúm aðlögunarhæfni, afar mikil aðferðarhreinleiki
Allt kerfið notar flans-þétta samþætta hönnun án ytri loftinntaksbyggingar, sem gerir það að fullu aðlögunarhæft að lokuðu vinnuumhverfi tómarúmslofts. Það getur lokið öllu úðunarferlinu við mikla lofttæmi. Í lofttæmu umhverfi er engin truflun frá súrefni, ryki eða vatnsgufu, sem leiðir til húðunar sem er laus við oxunaróhreinindi og agnaleifar, sem bætir hreinleika og stöðugleika virkra kvikmynda til muna. Þetta hentar fullkomlega framleiðsluatburðarás með miklar hreinlætiskröfur, svo sem hálfleiðara, nákvæmni ljósfræði og líflæknisfræði. Jafnframt er búnaðurinn samhæfður ýmsum stöðluðum lofttæmishólfum, styður einingasamþættingu, er auðvelt að setja upp og hefur sterka eindrægni, sem gerir beina tengingu við niðurstreymisferli eins og lofttæmisútfellingu og lofttæmisglæðingu.

 

2. Framúrskarandi atomization nákvæmni, framúrskarandi húðun einsleitni
60kHz hátíðni-úthljóðsúðunin býr yfir afar sterkum úðunarstöðugleika, sem myndar ofurfína dropa með einsleitri kornastærð og mikilli samkvæmni. Samsett með sérsniðinni inndælingardælu fyrir stöðugt -flæðisnákvæmni vökvaflæði, forðast það algjörlega frávik í atomization sem orsakast af sveiflum í vökvaframboði. Endanleg húðun nær einsleitni sem fer yfir 95%, með filmuþykkt nákvæmlega stjórnað á nanómetra til míkrómetra stigi. Húðin er þétt, slétt og laus við appelsínuberki og göt. Í samanburði við hefðbundna úðunar- og snúningshúðunarferla eru filmugæðin og samkvæmni verulega bætt, sem gerir það sérstaklega hentugur fyrir ofur-þunna, virka húðun og nákvæma úðunarnotkun á ör-svæðum.

 

3. Aðlögunarhæfni fyrir víðtæka miðla og sterka ferlistýringu: Með því að nýta 60kHz hátíðnieiginleika-eiginleika og sérsniðið-stillanlegt flæðiskerfi með sprautudælu, er búnaðurinn aðlögunarhæfur að ýmsum fljótandi miðlum, þar á meðal vatnslausnum, alkoxíðlausnum, leiðandi bleki, ljósviðnámum{4}}, nanolausnum. Hægt er að ná stöðugri úðunarúðun með bæði lág-seigju snefilhvarfefnum og miðlungs-seigju virkum slurry. Kerfið styður skynsamlega formúlustjórnun í gegnum snertiskjá, sem geymir mörg sett af breytum fyrir úðaferli. Einn-smellur byrjun á úðunarferlinu gerir kleift að stjórna úðaleiðinni, vökvabirgðahraða, úðunarafli og lofttæmisfæribreytum nákvæmlega. Ferlið sýnir mjög mikla endurtekningarhæfni, sem gerir það hentugt fyrir bæði fjöldaframleiðslu og rannsóknarstofur.

 

4. Einstaklega lítið tap, orkusparandi
Ultrasonic atomization spraying byggir á há-tíðni titringi til að ná þrýstingslausri úðun. Ásamt nákvæmri innspýtingardælu fyrir vökvaveitu er nýtingarhlutfall húðunar mun hærra en hefðbundin pneumatic úða, með nánast enga dropadreifingu eða úrgangi, sem leiðir til afar lágs efnistaps. Á sama tíma státar búnaðurinn af lítilli heildarorkunotkun og stöðugri notkun. Tómarúms-innsiglaða aðgerðastillingin útilokar þörfina fyrir síðari ryk- og óhreinindaferla, einfaldar framleiðsluferlið, bætir verulega skilvirkni ferla og dregur úr framleiðslu- og rannsóknar- og þróunarkostnaði.

 

III. Kjarnaviðmiðunarsvið umsókna
Með því að nýta sér kjarnakosti þess, lofttæmisþéttingu, mikla nákvæmni, mikla hreinleika og sterka stjórnunarhæfni, er 60kHz lofttæmisflans úthljóðsúðasprautun + sérsniðið inndælingardæla samþætt kerfi mikið notað á háum-nákvæmni framleiðslusviðum. Í nýja orkuiðnaðinum er hægt að nota það til að úða eldsneytisfrumhvatalag, þunnt-filmu sólarsellulagsútfellingu og litíum rafhlöðuskiljara hagnýtur húðun; í hálfleiðara- og rafeindaiðnaðinum hentar það fyrir flís ör-svæðishúð, raka-einangrunarhúð á hringrásarborði og gagnsæja húðunarferla fyrir sjónræna hluti; á sviði nákvæmni ljósfræði getur það útbúið sjónræna-endurskinsfilmur, and-endurskinsfilmur og hlífðarslitþolnar-filmur; á lífeðlisfræðilegu sviði hentar það fyrir{10}}hánákvæmni atburðarás eins og virkni örvökvaflísa og undirbúning lífskynjarafilmu.

 

IV. Tæknileg samantekt 60kHz lofttæmisflans úthljóðsúðunartækni, ásamt nákvæmum vökvagjafakostum sérsniðinnar lofttæmis-innspýtingardælu, brýtur í gegnum flöskuhálsa hefðbundinna úðunarferla í lofttæmuumhverfi, og nær fram nákvæmu úðunarferli sem einkennist af nákvæmni, mikilli hreinsun, mikilli þéttingu og lítilli þéttingu. Þetta samþætta kerfi útilokar háð burðargas, er innsiglað til að laga sig að lofttæmisaðstæðum og býður upp á nákvæma stjórn á bæði úðun og vökvaframboði. Það uppfyllir fullkomlega ferlakröfur um háa-þunn filmugerð og ör/nano nákvæmni húðun, fyllir upp í tæknilega bilið í fínni sprautun við lofttæmi. Það er ómissandi kjarnavinnslubúnaðarlausn á sviði háþróaðrar-nákvæmni framleiðslu og nýrra efnisrannsókna og þróunar, og notkunarmörk þess munu halda áfram að stækka í háþróuðum-iðnaði eins og hálfleiðurum, nýrri orku og nákvæmni ljósfræði í framtíðinni.