Hvað er Ultrasonic Photoresist Spraying?

Ultrasonic photoresist húðunarbúnaður er sérhæft tæki fyrir photoresist húðun byggt á ultrasonic atomization tækni. Það er fyrst og fremst notað á nákvæmni framleiðslusviðum eins og hálfleiðurum, spjöldum, oblátum, MEMS og ljósvökva. Það úðar ljósviðnám í nanó/míkrón-stærð ofurfína dropa, úðar þeim jafnt á yfirborð undirlags eins og obláta og glerundirlags, kemur í stað hefðbundinna snúnings-húðunar- og dýfingar-húðunarferla.

 

Einfaldlega sagt, það er kjarnabúnaðurinn í "viðnámshúðunarstigi" ljósþynningarferlisins, sem státar af kostum eins og mikilli nákvæmni, mikilli einsleitni, lítilli viðnámsnotkun og engum hringlaga / þykkum brúnum galla, sem gerir það hentugur fyrir ljósþolshúðunarkröfur háþróaðra ferla.

 

Tæknilegir kostir(samanborið við hefðbundna snúningshúð/dýfahúð)

Ljósþolshúðun er afgerandi for-þrep í ljósþynningu og einsleitni filmuþykktar hefur bein áhrif á nákvæmni ljósþynningar. Kjarnakostir úthljóðsúðabúnaðar eru langt umfram hefðbundna ferla, sem er einnig aðalástæðan fyrir víðtækri upptöku þess í háþróaðri framleiðsluferlum.

 

1. Ofur-mikil einsleitni húðunar:Einsleitni filmuþykktar Minna en eða jafnt og ±1%, sem útilokar "þykkar brúnir og íhvolfur miðstöðvar" spunahúðarinnar, hentugur fyrir ljóslithography kröfur háþróaðra ferla eins og 7nm/5nm;

 

2. Mjög lítil ljósþolsnotkun:Snúningshúðun hefur aðeins 10~20% notkunarhlutfall fyrir ljósþol, en úthljóðsúðun getur náð 80~95%, sem dregur verulega úr kostnaði við ljósþol (hár-notkunarvörur);

 

3. Breitt stjórnanlegt filmuþykktarsvið:Hægt að húða þunnar filmur frá 10nm til 100μm, hentugur fyrir bæði ofur-þunn og þykk ljósþolslög (td umbúðaljósmyndafræði, MEMS djúpholaljósmyndafræði);

 

4. Engar vélrænar álagsskemmdir:Enginn miðflóttakraftur eða háhraða undirlagssnúningur, forðast skekkju og sprungur á yfirborði/undirlagi, hentugur fyrir viðkvæmt undirlag (td ofur-þunnt undirlag, sveigjanlegt undirlag);

 

Aðlagast flóknu undirlagi:Aðlögunarhæfur að flóknu undirlagi: Getur húðað ó-plan undirlag, djúp göt/ rifið undirlag, undirlag á stóru-svæði og óregluleg lögun sem ekki er hægt að vinna með með snúningshúð

 

Umhverfisvænt og-mengunarlaust:Lítil límnotkun, afar lítið magn útblástursúrgangsvökva, engin límúða skvettur eins og í snúningshúð, uppfyllir kröfur um hreinar framleiðslu.